विश्वव्यापी अर्धविचटानिकल क्षेत्रको गतिशील क्षेत्रमा, नयाँ टेक्नोलोजीहरू र सामग्रीहरू अवैध रूपमा देखा पर्दछ।2021 अर्ध विलियमन्ड्रोन्ड्रक्टर अनुसन्धान केन्द्रले उक्त पर्वतील माइलस्टोस्टोन (TSRI) द्वारा एकीकृत क्षेत्रीय (आईसी) उत्पादन टेक्नोलोजीको विकासमा खाली गर्ने।एक ठूलो प्रकाशको साथ, TSRI टीमले पहिलो सीएमओएस इनभोर अनावरण गर्यो।यो उपकरण, गेट-सबै-सबै (गाया) ले जर्मनीकरण (GA) च्यानल नानोन्ट्स प्रयोग गरेर गेट-सबै-सबै क्षेत्रहरूमा जराले, स्तनपायीकरण टेक्नोलोजीमा रूपान्तरणकर्ता चरणलाई हेराल्ड गर्दछ।
अनुसन्धान पृष्ठभूमि र महत्व
SNM टेक्नोलोजीको तलको डाइरेलिप, गाँट ट्रान्ससेजिर्सहरूले उद्योग स्पटलाइटको पोशाक लगाएका छन्।तिनीहरू असाधारण इलेक्ट्रिक विशेषताहरू घमन्ड गर्छन् र छोटो च्यानल प्रभाव नियन्त्रण गर्नमा सिपालु हुन्छन्।यी ट्रान्जिस्टरहरू, नानाहरू (NWS) वा Nansosets (NSSTATES (NSS) को साथ स्ट्याकिंग दृष्टिकोण लेभरेट गर्दै, मरियरलाई आँगन र वर्तमान तीव्रता बढायो।
एक विस्तारित अवधि को लागी, अर्धवतुआटोक्टिक अनुसन्धान उपभोगत्मक सिलिकन (SI) सामग्रीहरु मा स्थिरयद्यपि विज्ञान उपभोक्ता सामग्रीमा अन्वेषणमा उक्त विज्ञानको अग्निचिंग आइसभासमेत - धूप, गेन, gsn, Ingaas।यी सामग्रीहरू क्षितिज विस्तार, फिल्ड-प्रभाव ट्रान्सरीस्पद डिजाइन र नयाँ नयाँ बहुमुखी र सम्भाव्यताका साथ।
Tsri अग्रगामी सेवा सफलता
यस विकसित परिदृश्यमा TSRI टीमका योगदानहरू बाहिर उभिन्छन्।तिनीहरूले केवल गेरी N / P-Pay प्रकार ट्रान्जिस्टरको बनावटी मास्टर गरेनन्;तिनीहरू एक मजबूत सीएमओस इनभ्यूटर मा एक मजदुरी को एक मजदूरी संग।यो उपलब्धि एक प्राविधिक टुर डियू बल हो, शैक्षिक संसारको टकटकी कब्जा।ZH JUSTIN र प्रोफेसर लुजोन ली उडो गुआंगलीको साथ उनीहरूको खोजीहरू भेट्टाए, र प्रकाशन लुइस गुआआंगलीको साथ प्रकाशन।
प्राविधिक विवरणहरू र भविष्यको संभावनाहरू
TSRI प्रयोगविद्हरूले उपन्यास 2D जी / SI बहु-तह एपिट्याजिकल प्रक्रिया प्रयोग गरे।तिनीहरूको दक्ष कार्यान्वयनले एक-इन्च सोनी वेफरमा तीन-तहको गेराट गाँटरको सिर्जनालाई गठन गर्यो।यी ट्रान्सजिस्टहरूले केवल उच्च भोल्टेज लाभ प्रदर्शन गरेनन् (एक प्रभावशाली 2 24V / v);तिनीहरूले पूर्वी बनावटको टेक्नोलोजीहरू पनि देखाए जुन किसवर्धक आन्दोलनको साथ 600 डिग्री सेल्सियसी एस / डी / डी / डी / डीईएम मेटलिकाइनिजन प्रक्रियामा।
यी प्रविधिहरूको सफल अनुप्रयोगले सेमिटुनिकल निर्माणमा गलको असीम प्रतिज्ञालाई मात्र नभई 2NM दायरा प्रक्रियाको खोजीमा TSMC का लागि अमूल्य अन्तरदृष्टि प्रदान गर्दछ।
निश्कर्षमा
TSRI को अनुसन्धानले केवल टेक्निकल उपलब्धिलाई असर गरेको छ।यसले अर्धवाण्ड उद्योगको भविष्यको मार्गको लागि नयाँ कोर्स चार्ट गर्दछ।यस कामको प्रभावले यसको वैज्ञानिक योग्यता बाहेक, अर्धवाण्डक्टर सामग्री र उपकरण निर्माणको क्षेत्रलाई आगामी आविष्कारहरू र पाकलाई संकेत गर्दछ।यी अध्ययनहरू अघि बढ्दै जाँदा हामी अनुप्रयोग र सफलताहरूको निरन्तरताका लागि उत्सुक छौं।